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发布日期:2024-08-27 00:22:01阅读: 次
天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权,授权公告日为7月14日,授权公告号为CN219350153U。
北方华创“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权
天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权,授权公告日为7月14日,授权公告号为CN219350153U。
图片来源:天眼查
专利摘要显示,本申请涉及半导体工艺技术领域,具体而言,涉及一种电源引入板及半导体工艺设备。该电源引入板具有电流引入部和电流调节缝;电流引入部用于外接电源,以馈入射频;电流调节缝设置于电源引入板的边缘与电流引入部之间部位,且沿电源引入板的厚度方向,电流调节缝贯通于电源引入板的两端面,半导体工艺设备包括上述电源引入板。采用本申请所提供的技术方案,能够改变电源引入板及与之对应的靶材上电流的分布,以补偿高频、甚高频射频电流的不对称性,使薄膜偏厚的部位变薄,进而改善溅射薄膜厚度偏心的问题,优化薄膜均匀性。
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